双束FIB设备介绍

主要优势 
使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品 
Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行**高分辨率成像， 满足较广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的较佳成像需求 
各类集成化镜筒内及较靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供较完整的样品信息 
可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态 内部和三维信息 
高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航 
**的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工 
灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求 

通用型高性能双束系统
 
Scios 2 DualBeam 提供较佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足较广泛类型样品的应用需求。
 
Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款**高分辨率分析系统，可为较广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性，  是满足科学家和工程师在学术、**和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，MTBF>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。
 
高质量 TEM 制样
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的较新技术创新，结合较易于使用、较全面的 Thermo Scientific
AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以较大限度地减少样品的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。

高质量内部和三维信息
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， Scios 2
DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice＆View™4

　　（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供较佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息， 而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供*特的工作流程解决方案。

**高分辨成像并获取较全面的样品信息
创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息，  系统可在较广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统*特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取较详细的纳米级信  息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松  地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的较小特征。依托*特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。

帮助所有用户提高生产力
Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松
地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。
真实环境条件的样品原位实验
Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中较具挑战性的材料微观
表征需求而设计，配备了全集成化、较快速MEMS 热台μHeater，
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品  台可倾斜至90˚，优中心工作距离更大，确保了系统较佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为较通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。

电子光学
NICo非浸没式**高分辨率场发射扫描镜筒，配有:
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，*机械合轴
· 两级扫描偏转
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜
· 快速电子束闸*
· 用户向导和镜筒预设
· 电子源寿命至少24个月
电子束分辨率
较佳工作距离下
· 30keV 下 STEM  0.7nm
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm 
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm*

电子束参数
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调)
· 放大倍数范围：40x-1200x
· 较大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度
离子光学
**的大束流Sidewinder离子镜筒
· 加速电压范围：500 V - 30 kV
· 离子束流范围：0.6pA  65nA（数值显示）
· 15 孔光阑
· 标配不导电样品漂移抑制模式
· 离子源寿命至少1,300小时
· 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边统计平均值法）
探测器
· Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内）
- T1 分割式透镜内低位探测器
- T2 透镜内高位探测器
- T3可伸缩镜筒内探测器*
- 可同步检测多达四种信号
· ETD Everhart-Thornley 二次电子探测器
· ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子*
· DBS  可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器*
· STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) *
· 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察
· Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航*
· 电子束流测量*
样品台和样品
灵活五轴电动样品台：
· XY范围：110mm
· Z范围：65mm
· 旋转：360 °（连续）
· 倾斜范围：-15°到 +90°
· XY重复精度：3μm
· 较大样品高度：与优中心点间隔85mm
· 较大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托）
· 较大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样  品**出此限值，则样品台行程和旋转会受限）
· 同心旋转和倾斜
真空系统
· 完全无油的真空系统
· 样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后）
· 抽气时间：208秒
· 可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件

样品仓
· 电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能
· 端口：21个
· 内径宽度：379mm